结构和工作原理 1956年,联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵,往后相继出现了

图2 立式涡轮分子泵的结构图

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各类不同结构的分子泵,首要有立式和卧式两种,图2为立式涡轮分子泵的结构图。涡轮分子泵首要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等构成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150～400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮构成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮构成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米摆布的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

图3为一个动叶片的工作示意图。在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧(图3a),当气体分子到达A点附近时,在角度α1内反射的气体分子回到左侧;在角度β1内反射的气体分

图3 动页片的工作原理

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子一部分回到左侧,另一部分穿行叶片到达右侧;在角度γ1内反射的气体分子将直接穿行叶片到达右侧。同理,在叶轮右侧(图3b),当气体分子入射到B点附近时,在α2角度内反射的气体分子将返回右侧;在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧,另一部分返回右侧;在γ2角度内反射的气体分子穿行叶片到达左侧。倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿行叶片到达右侧,比从右侧穿行叶片到达左侧的概率大得多。叶轮连续旋转,气体分子便不断地由左侧流向右侧,从而产生抽气效用。[1]